用热丝法在硬质合金基体上沉积金刚石膜的研究

摘要：

用XRD,SEM和Raman光谱仪、洛氏硬度计等分析检测手段,研究了经表面两步法侵蚀后,YG15硬质合金基体上用热丝法沉积出的金刚石薄膜的晶体结构、显微组织、化学纯度及粘结性能等.结果表明,硬质合金基体表面一定深度范围内钴含量的变化,对金刚石薄膜的晶体结构取向、组织形态、化学纯度及粘结性能等有很大影响.①在基体表面深度约为5μm范围内,当钴含量为0.81%时,金刚石薄膜具有明显的{111}面取向,其金刚石纯度较高;而当钴含量为1.05%时,具有{110}和{111}面的混合取向,其金刚石纯度较低,且其薄膜具有较高的内应力.②当CVD沉积温度为800℃时,金刚石薄膜的晶粒度约为1～3μm.③与多边形金刚石薄膜相比,菱形金刚石薄膜与硬质合金基体具有较高的粘结性能.

关键词：金刚石薄膜、硬质合金、物理性能

所属期刊栏目：38

分类号：TG135.5(金属学与热处理)

资助基金：湖南省科技厅攻关项目00GKY1007;湖南省有色金属材料重点实验室基金

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：187-190