类金刚石梯度膜的微观力学性能研究

摘要：

采用非平衡磁控溅射及等离子体源离子混合注入方法在奥氏体不锈钢1Cr18Ni9Ti基体上制备N/TiN/Ti(N,C)/DLC梯度涂层.采用原子力显微镜等手段观察分析梯度膜的显微组织与相组成,同时采用纳米压入技术评定膜层的力学性能.实验结果表明,采用此方法制备的金刚石膜组织致密,性能良好.

关键词：类金刚石膜、原子力显微镜、纳米压入技术

所属期刊栏目：38

分类号：TG115.5(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金59971030

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：139-141