CVD金刚石薄膜热,导率的研究

摘要：

研究了直流等离子体喷射沉积金刚石膜的晶粒尺寸、晶粒取向、膜厚、杂质和缺陷对金刚石膜的热导率的影响.结果表明,随着晶粒尺寸的增大,金刚石膜的热导率先慢后快逐渐增大;随着膜的增厚,热导率先大幅度提高,达到一定值后,变化率变小;晶粒(111)取向对金刚石膜的热导率最有利,其次是(110);非金刚石碳相和缺陷都降低膜的热导率,但晶间空隙对热导率的影响比非金刚石碳相大.

关键词：直流等离子体射流法、CVD金刚石膜、热导率

所属期刊栏目：38

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：广东省自然科学基金990548;高等学校博士学科点专项科研项目1999056121

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：50-52