卢瑟福背散射分析

摘要：

对卢瑟福背散射分析的基本原理作了概要的介绍.论述了背散射分析的最佳实验条件、质量分辨率和分析灵敏度.列举了卢瑟福背散射分析在材料表面层和薄膜研究中的应用例子.

关键词：卢瑟福背散射、表面层分析、薄膜分析

所属期刊栏目：38

分类号：O484.5;O571 33(固体物理学)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：41-46