化学气相沉积过程各参数对沉积速度和薄膜晶体组织结构的影响

摘要：

以氢气还原氯化钨沉积纯钨薄膜为例,简述了化学气相沉积法反应的主要原理,叙述了在反应过程中各参数对沉积速率的影响,及各参数对晶体结构的影响.

关键词：化学气相沉积、薄膜、沉积速率、晶体结构

所属期刊栏目：37

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：420-423