10.3969/j.issn.1001-4012.2000.12.005
纳米薄膜厚度的X射线测量
研究了通过小角度X射线衍射(XRD)技术测量纳米薄膜沉积厚度与沉积速率的方法,并测定了在SiC表面沉积Fe纳米薄膜的厚度和沉积速率.结果表明,采用小角度XRD技术测量纳米薄膜厚度和沉积速率,能克服基片性质、表面平整度和金属膜氧化的影响,准确、方便地测量纳米薄膜的厚度和沉积速率.
纳米薄膜、厚度测量、多层膜、X射线衍射
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TB3(工程材料学)
2004-07-31(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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549-551