电感耦合等离子体质谱法测定三氯氢硅中12种杂质元素
三氯氢硅(TCS)是改良西门子法生产多晶硅的中间产物,常态下为有刺激性恶臭、易流动、易挥发的无色透明液体,且极易在空气中燃烧[1].在改良西门子法生产多晶硅的过程中,三氯氢硅的纯度对产品多晶硅的质量具有决定性作用,通过对TCS中杂质含量的检测,可以监控整个生产过程的洁净度,进而保证产品质量.
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O657.63(分析化学)
2015-12-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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