电感耦合等离子体质谱法测定三氯氢硅中12种杂质元素

摘要：

三氯氢硅(TCS)是改良西门子法生产多晶硅的中间产物,常态下为有刺激性恶臭、易流动、易挥发的无色透明液体,且极易在空气中燃烧[1].在改良西门子法生产多晶硅的过程中,三氯氢硅的纯度对产品多晶硅的质量具有决定性作用,通过对TCS中杂质含量的检测,可以监控整个生产过程的洁净度,进而保证产品质量.

机标关键词：电感耦合、离子体质谱法、测定、三氯氢硅、多晶硅、西门子、生产过程、中间产物、杂质含量、透明液体、产品质量、洁净度、刺激性、无色、燃烧、流动、量具、空气、检测、监控

所属期刊栏目：51

分类号：O657.63(分析化学)

在线出版日期：2015-12-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1604-1607