高纯硅中痕量元素分析方法研究进展

摘要：

综述了从1980-2012年间测定高纯硅中痕量元素分析方法的研究进展.高纯硅中痕量元素的主要分析方法包括红外光谱法、原子发射光谱法、原子吸收光谱法、X射线荧光光谱法、极谱法、离子探针与离子色谱法、二次离子质谱法、辉光放电质谱法、电感耦合等离子体质谱法等;并对高纯硅中痕量元素的分析方法进行了展望(引用文献59篇).

关键词：高纯硅、痕量元素、综述

所属期刊栏目：49

分类号：O657.3(分析化学)

资助基金：国家自然科学基金211102157;中国科学院仪器设备功能开发技术创新项目Y27YQ1110G;中国科学院上海硅酸盐研究所创新项目O97ZC1110G

在线出版日期：2013-04-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：121-127