二氧化碳激光诱导沉积银层的表征

摘要：

对运用二氧化碳激光诱导局域沉积的银层进行了扫描电镜(SEM)、电子探针(EPMA)、原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱(XPS)分析.结果表明:沉积层在基体环氧树脂玻璃纤维板表面呈"孤岛状"分布,没有宏观导电性;而且由于在沉积过程中一部分沉积物扩散到基体内部,使沉积层与基体有很好的结合力,它又充当了后续的化学镀铜层与基体间的过渡层;试验证实沉积层中的银以单质形式存在,除银外,还含有氧、氮、碳等杂质元素.

关键词：二氧化碳激光、诱导沉积、银层、扫描电镜、电子探针、原子力显微镜、X射线光电子能谱分析

所属期刊栏目：44

分类号：TN248.2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2008-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：149-151,153