以湿法工业级磷酸生产电子级磷酸的脱砷技术

摘要：

介绍电子级磷酸的生产方法,以及在原料(工业级磷酸)处理阶段的脱砷原理和工艺流程.湿法工业级磷酸经脱砷及后续的结晶、重结晶处理后,w(As)由75×10-9降至＜10×10-9,产品质量达到SEMI-C7标准.

关键词：工业级磷酸、电子级磷酸、脱砷技术

所属期刊栏目：29

分类号：TQ126.3+5

在线出版日期：2014-04-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：47-48