微电子工业的职业卫生

摘要：

微电子工业代表一类高新技术企业，作业环境清洁度高，但化学物质使用集中，职业危害尚研究不足。本文简单介绍了其生产过程和化学物使用情况，综述了各种职业有害因素如化学、物理及工效学因素的暴露和健康效应。主要化学物质有：金属，毒气，腐蚀性物质，有机溶剂，光活性物质，因其浓度常低于卫生标准或检出限，使接触评定较难进行。微电子工业职业有关疾患患病情况高于一般电子工业和所有制造业，目前对生育系统危害调查居多。进一步需评价化学物联合作用及调查职业有关的慢性疾病和癌症患病情况。

关键词：微电子、职业危害、高新技术

所属期刊栏目：18

分类号：R13(劳动卫生)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：113-116