有滞留时间约束的集束型装备在线调度问题研究

摘要：

针对半导体制造中有滞留时间约束的集束型装备,研究了临时晶网到达时的在线调度问题,描述了调度问题域.建立了问题的数学模型,并根据模型提出了两层调度方法.外层算法通过粒子群优化过程求解临时晶网的加工顺序;内层算法在给定加工顺序的基础上,采用前向和后向递推方法获得口,行解窄问,并从可行解窄问获得最优完工时间.从理论上证明了算法的可行性,并通过仿真结果表明,该方法对求解人规模临时晶圆的调度问题足十分有效的.

关键词：半导体制造、集柬型装备、在线调度、粒子群优化算法、滞留时间约束

所属期刊栏目：26

分类号：TP241.2;TP278(自动化技术及设备)

资助基金：沈阳市科技计划项目108155-2-00

在线出版日期：2011-08-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：37-43,48