测量时延在线估计与批间控制器协同设计

摘要：

批间控制是半导体批次生产过程中常用算法,其关键问题在于能够及时获取上一批次的制程输出,受测量手段及其成本限制,实际的生产制程很难满足这一要求.为此,本文提出一种基于贝叶斯统计分析的测量时延估计算法.在分析晶圆质量与实测时延、估计时延、以及制程漂移之间的逻辑关系的基础上,并将晶圆的质量信息按加工时间顺序划分两个相邻的滚动时间窗口.基于贝叶斯后验概率函数,及时捕获后一个滚动时间窗口内过程输出发生漂移的概率,从而判断是否有测量时延发生,并估算该时延大小.在此基础上,给出批间控制器的测量时延补偿策略,及时调整制程的控制量,提高晶圆的加工品质.仿真结果验证所提出算法的有效性.

关键词：批间控制、双指数加权滑动平均、时延、贝叶斯理论

所属期刊栏目：33

分类号：TP273(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金61273142;江苏省六大人才高峰2012-DZXX-045;江苏省高校优势学科建设工程项目PAPD资助.National Natural Science Foundation of China61273142;Foundation for Six Talents by Jiangsu Province2012-DZXX-045;Priority Academic Program Development of Jiangsu Higher Education Institutions

在线出版日期：2016-04-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：92-97