晶圆重入加工的组合设备终止暂态的调度与分析

摘要：

晶圆重入是半导体组合设备加工中典型的复杂加工工艺,分析和优化暂态加工过程对于晶圆重入加工具有重要意义.为了满足加工需求和提高组合设备的加工性能,基于稳态重入加工的双臂组合设备Petri网模型和1-晶圆周期调度策略,采用虚拟晶圆的加工模式分析了系统的终止暂态过程,讨论了系统终止暂态的加工时间分布,并给出相应的解析式进行描述.利用eM-Plant仿真平台建立了重入加工的双臂组合设备终止暂态的仿真模型,并用例子验证了1-晶圆周期调度的可行性及解析式的有效性,为研究晶圆重入加工过程的优化提供了有效方法和手段.

关键词：晶圆制造、组合设备、重入加工、Petri网、建模、调度、仿真

所属期刊栏目：32

分类号：TP278;TP391.9(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金项目71361014资助.Supported by Natural Science Foundation of China 71361014

在线出版日期：2015-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：655-664