自抗扰控制技术在微机电换能器中的应用

摘要：

自抗扰技术,作为一门新兴的鲁棒控制技术,能够成功补偿微机电制造上的缺陷以及周围环境的扰动,从而提高微机电传感器和执行器的性能,增加它们的测量及移动精度.本文介绍了自抗扰技术在微机电陀螺仪和静电执行器两大微机电换能器上的应用.通过使用此项控制技术,微机电陀螺仪可精确测量并输出匀速及时变角速度.此外,一种模型辅助自抗扰控制器被首次应用到微执行器上.此模型辅助自抗扰控制器建立在部分模型已知的基础上.它能够在外干扰存在的情况下,把静电执行器的位移范围提高到电容间距的99％.模型辅助自抗扰控制器的抗噪声能力也优于传统的自抗扰控制器.作者用仿真和实验结果向读者展示了自抗扰技术在微机电领域的鲁棒性,有效性和实用性.

关键词：微机电系统、微机电陀螺仪、静电执行器、自抗扰控制、鲁棒性

所属期刊栏目：30

分类号：TP202+.1(自动化技术及设备)

在线出版日期：2014-03-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：1543-1552