基于自适应噪声抵消的CZ单晶炉炉膛温度信号处理

摘要：

为滤除CZ单晶炉炉膛温度信号在单晶生长过程中存在的低频干扰,提出一种基于噪声抵消技术的滤波方法.首先利用傅立叶级数构造出低频干扰的逼近信号,然后根据炉温信号的缓变特征建立能够获取低频干扰逼近信号的抵消器误差函数,最后利用一种改进的粒子群优化算法优化误差函数获得低频干扰的逼近信号,并用该逼近信号抵消低频干扰.实验结果表明,所提出的自适应噪声抵消滤波算法能够有效滤除CZ单晶炉炉膛温度信号中的低频干扰,并优于常用的滤波方法.

关键词：CZ单晶炉、炉膛温度信号、低频干扰、滤波、傅立叶级数、自适应噪声抵消、粒子群优化

所属期刊栏目：28

分类号：TP14;TG232.5(自动化基础理论)

资助基金：国家科技重大专项资助项目2009ZX02011001

在线出版日期：2011-05-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：94-100