碳化硅超高温合成炉深部温度测试技术研究

摘要：

利用红外线测温仪及示性物质Al2 O3、ZrO2分别对热源温度及对炉内某些特定部位的温度进行了直接测量，通过数值模拟对炉内温度变化进行了预测。研究结果表明，示性物质测温法为温度测量提供了一种新的参考方法，是红外线测温仪测温的有益补充；数值模拟合成炉温度场能够对炉内整体温度进行预测。表面负荷一定条件下，热源温度线性增加到一定温度以后基本保持不变。测试结果表明，碳化硅分解温度在2600～2700℃之间。

关键词：碳化硅、超高温合成炉、温度测试、示性物质、数值模拟

分类号：TB321(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金51074123；陕西省教育厅科研计划项目12JK0785；榆林市产学研合作项目2011；西安科技大学博士基金2011QDJ022

在线出版日期：2014-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：101-103,107