10.3969/j.issn.0253-6099.2006.04.023
通过激光诱导化学气相沉积来制造微碳柱的研究
使用氩离子激光作为光源,乙烷(C2H6)作为工作气体,在激光功率0.5~4.5 W,气体压力0.03~0.09 MPa的变化范围内,进行激光诱导化学气相沉积形成微结构.试验研究了激光功率、气体压力对碳柱直径和生长长度的影响,讨论了碳柱平均生长率适随照射时间、焦点移动速度的变化规律.根据实验数据,使用焦距移动方法,生成长径比超过500的微碳柱.
激光诱导化学气相沉积、生长速度、直径、微碳柱
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TB3(工程材料学)
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2006-10-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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