氮化碳薄膜的红外光谱(FTIR)特性分析

摘要：

对采用磁控溅射法制备的氮化碳(CNx)薄膜进行了傅里叶变换红外光谱(FTIR)的测量与特性分析.结果表明,薄膜中含有C(=)N键、C=N键以及C-N键,但样品中碳氮键总体数量偏少,N含量偏低,N/C比偏低.改变制备工艺条件,薄膜中原子的化学结合状况会发生相应的变化.

关键词：氮化碳薄膜、红外光谱、磁控溅射

所属期刊栏目：26

分类号：O484.5(固体物理学)

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：81-83