反问题方法在3ω法测量薄膜热导率中的应用

摘要：

数值计算证明,3ω方法结合有限元方法与反问题方法,能够同时确定基底材料与薄膜的相关热物性.基底上薄膜的热导率可以获得很高的测量精度,而且几乎不受测量截止频率的影响;热扩散率的测量精度则相对较低,但随着测量截止频率增加,其测量精度会得到改善.使用上述方法得到了硅基底上二氧化硅薄膜的热导率.得到硅基底的热导率为142.1 W/(m K),相对误差约为2％,二氧化硅薄膜的热导率为1.01 W/(m K),相对误差约为2％,与公认的测量值相符.

关键词：3ω方法、反问题方法、热导率、薄膜

所属期刊栏目：64

资助基金：国家自然科学基金;博士后创新人才计划;中国博士后科学基金

在线出版日期：2020-08-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：3510-3514