太赫兹微测辐射热计的设计、仿真与制备

摘要：

为提高太赫兹(THz)微测辐射热计的探测灵敏度,优化设计探测单元的徽桥结构:增加10nm的镍铬(NiCr)金属薄膜用作THz辐射吸收层并增大探测单元面积.采用IntelliSuite软件建立不同单元尺寸、不同桥腿宽度的微桥结构的有限元分析模型,进行力学与热学仿真.力学仿真表明,增大探测单元面积,形变明显增加;增大桥腿宽度可以小幅改善形变.热学仿真表明,通过增大探测单元面积或减小桥腿宽度可以提升桥面温升.制备出基于不同探测单元结构的THz微测辐射热计焦平面阵列,探测单元的实际形变情况与仿真结果基本相符.单元面积75 μm×75 μm,桥腿宽度1.3μm的微桥结构具有较好的力学与热学性能,适合用作THz徽测辐射热计的探测单元结构.

关键词：太赫兹微测、辐射热计、力学仿真、热学仿真、制备

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资助基金：国家自然科学基金61006036,61235006

在线出版日期：2014-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：727-732