耐高温垂直取向FePt连续薄膜的表面形貌与磁性

摘要：

用磁控溅射法在加热到400℃的MgO(001)单晶基片上沉积了总厚度为25 nm的[Fe(0.6nm)/Fe30.5Pt69.5(1.9 nm)]10多层连续薄膜,总成分配比为Fe50pt50.然后对其在[500,900]℃温度范围进行真空热处理,分析了热处理温度对薄膜表面形貌、晶体结构以及磁特性的影响.结果表明,在加热基片上生长的FePt薄膜,层间已经发生扩散,形成无序的A1相.经过700℃以上的高温热处理,薄膜转变为具有(001)织构的L10相FePt合金,易磁化轴沿垂直于膜面的方向,有序度大于0.85,单轴磁晶各向异性能约2.7×107 erg/cc.利用扩散后残存的周期性微弱成分起伏,可以使薄膜在800℃以下保持形貌连续.用原子力显微镜对薄膜表面进行观察证实,在780℃进行热处理,薄膜的表面最平整.这种优质的连续薄膜可以应用于微加工制作超高密度垂直磁记录阵列介质.

关键词：L10相FePt、连续薄膜、热处理、表面形貌、磁性

所属期刊栏目：56

分类号：O484.43(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金51071132;重庆市自然科学基金CSTC2009BB8102;中央高校基本科研业务费专项资金XDJK2009C193

在线出版日期：2011-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：1188-1195