光盘表面结构的软模板复制及图案化氧化锌薄膜的纳米压印制备

摘要：

模板的制备和选择在纳米压印技术中非常重要.采用廉价的光盘为模板,利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)浇铸到光盘表面,分离后复制得到光盘的负形结构.采用纳米压印技术,以PDMS软模板作为印章对氧化锌纳米溶胶进行直接压印,实现了氧化锌薄膜的表面图案化,经煅烧后得到晶态氧化锌薄膜.

关键词：光盘、聚二甲基硅氧烷、氧化锌溶胶、纳米压印、表面图案化

所属期刊栏目：56

分类号：O643.36(物理化学（理论化学）、化学物理学)

资助基金：国家自然科学基金20903034;10874040;教育部科技创新工程重大项目培育基金708062

在线出版日期：2011-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：1097-1102