表面钝化对少子寿命、铁-硼对浓度和复合中心浓度的影响
分别采用0.08 mol/L的碘酒、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)SiNx:H和40%的HF酸对太阳电池级直拉单晶硅进行表面钝化,然后利用微波光电导衰减(μ-PCD)法测量硅片的少子寿命和铁-硼(Fe-B)对浓度.通过比较少子寿命测量值,发现0.08mol/L的碘酒的钝化效果最好,40%的HF酸的钝化效果最差.对硅片Fe-B对浓度测量结果的分析表明,同一硅片经过不同钝化处理后Fe-B对浓度分布差异较大,且只有经过PECVD沉积SiNx:H钝化的硅片的Fe-B对浓度分布与少子寿命分布有显著的相关性.此外,实验研究还发现,钝化效果比较好的情况下,复合中心浓度分布与Fe-B对浓度分布存在很强的相关性.实验的半定量估算、分析表明,少子寿命、Fe-B对浓度以及复合中心浓度分布的间接测量结果,受到样品表面钝化效果的影响.
微波光电导、表面钝化、少子寿命、铁-硼对、复合中心
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O6(化学)
国家自然科学基金60876045;上海市重点学科建设项目S30105;上海大学研究生创新基金SHUCX091012;SHUSOEN's PV联合实验室基金SS-E0700601;上海市基础研究重点项目09JC1405900
2011-05-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
188-193
