介质阻挡放电在微型化光谱和质谱分析中的研究进展

摘要：

@@ 介质阻挡放电(DBD)是有绝缘介质插入放电空间的一种非平衡态气体放电,又称无声放电.其最显著的特点是能够在高气压(大气压)下产生低温等离子体,从而省去了真空装置.该技术目前已经被广泛地应用于臭氧合成、尾气处理、聚合物表面改性、薄膜生长、等离子体显示等诸多领域.近年来.人们开始关注介质阻挡放电技术在分析科学领域中的应用.并取得了一系列新进展.

机标关键词：介质阻挡放电、微型化、光谱、质谱分析、聚合物表面改性、低温等离子体、等离子体显示、真空装置、无声放电、尾气处理、气体放电、科学领域、绝缘介质、放电空间、放电技术、臭氧合成、薄膜生长、新进展、平衡态、技术目

所属期刊栏目：54

分类号：O4(物理学)

在线出版日期：2009-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

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