二维光子晶体微加工方法的研究与进展

摘要：

光子晶体这类新型材料的出现使人们操纵和控制光子的梦想成为可能,全光集成也将会因光子晶体的应用有突破性进展.光子晶体集成能否实现将以光子晶体器件为基础,因此首先要研究并实现将在光子集成上有很大应用前景的半导体材料的各种有源和无源光子晶体器件.二维光子晶体研制的最实用和最重要手段是微加工方法.总结了近红外波段的二维光子晶体微加工方法,包括电子束曝光、模板选用和干法刻蚀等,并进行了评述和展望,介绍了自己的工艺方法.

关键词：光子晶体、微加工方法、模板、电子束曝光、干法刻蚀、半导体材料

所属期刊栏目：51

分类号：O7(晶体学)

资助基金：国家自然科学基金60345008;60377011;60537010

在线出版日期：2006-11-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：2337-2346