InGaAs/InGaAsP超晶格薄膜导热系数测试

摘要：

采用3ω方法在100～320 K温度范围内测试了不同周期长度的InGaAs/InGaAsP超晶格薄膜的导热系数.结果表明对于周期性超晶格结构,随着温度的升高,热传导能力下降;比较周期长度不同的超晶格结构的测试结果,发现导热系数会随着周期长度的增大而减小,并在某一周期长度取得最小值,但随着周期长度的进一步增大,导热系数又出现上升趋势,表明在长周期超晶格结构中界面热阻是影响声子传输的主要因素.理论计算表明,对于短周期的超晶格结构,Bragg反射是造成产生最小值的原因之一,由于声子穿透率的下降,造成导热系数随着周期长度的增大而减小.理论与实验研究结果表明,随着周期长度的增大,声子的传输规律由声子的波动性过渡到粒子性,这对实现声子的剪裁具有重要意义,为设计超晶格结构提供理论基础.

关键词：3ω实验、导热系数、超晶格、薄膜

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分类号：O4(物理学)

资助基金：中国科学院资助项目50275026;50475077;50505007;50506008;国家重点基础研究发展计划973计划2006CB300404;国家自然科学基金BK2002060;高等学校博士学科点专项科研项目20050286019;"新世纪优秀人才支持计划"资助项目NCET-04-0470

在线出版日期：2006-08-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1601-1605