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10.3321/j.issn:0023-074X.2005.13.021

纳米颗粒碰撞下的单晶硅表面原子形态

引用
应用分子动力学模拟了纳米颗粒与单晶硅(001)表面碰撞后反弹、飞离的现象, 研究了入射角度对颗粒运动轨迹、基体损伤形貌的影响. 随着入射角度的变化, 颗粒反射角度在从钝角到锐角的大范围内变化. 入射角度决定了嵌入到最低点时颗粒与基体的接触部位, 作用于接触部位的基体释放弹性形变能提供了颗粒的反弹能量, 从而形成纳米颗粒的反弹角度敏感依赖于入射角度的现象. 碰撞使基体发生凹陷变形. 与颗粒运动轨迹相对应, 基体凹陷区域形状从较深的勺子形变化到平坦的圆弧形. 部分位于运动颗粒前方的基体原子被推移出, 在凹陷区边缘形成原子堆积.

碰撞、单晶硅表面、纳米颗粒、分子动力学模拟

50

O6(化学)

国家重点基础研究发展计划973计划2003CB716201;国家自然科学基金50390062

2005-08-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共5页

1417-1421

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0023-074X

11-1784/N

50

2005,50(13)

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