电晕放电等离子体增强化学气相沉积合成碳纳米管阵列

摘要：

发展了具有常压、低温特点的电晕放电等离子体增强化学气相沉积合成碳纳米管阵列的技术路线. 以甲烷和氢气为原料, 在含钴多孔阳极氧化铝模板中合成了碳纳米管阵列. 扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、能量弥散X射线谱(EDS)和拉曼光谱(Raman)分析表明, 该阵列由直径约40 nm的碳纳米管构成, 长度大于4μm. 碳纳米管主要限制生长在模板孔道中.

关键词：碳纳米管阵列、电晕放电等离子体、化学气相沉积、阳极氧化铝模板

所属期刊栏目：48

分类号：TB383(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金10175034;教育部优秀青年教师资助计划1820

在线出版日期：2004-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：32-34