金属钛辉光离子氮化制备氮化钛膜层的研究

摘要：

目的在金属钛表层制备以氮化钛(TiN)为主的氮化物膜层.方法在片状(25.0 mm×3.0 mm×0.5 mm)纯钛试样表层用辉光离子渗氮法制备了以TiN为主的氮化物膜层.利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)分析表征了样品膜层的物相组成、膜层微观结构及膜层硬度.结果在820℃,600 Pa炉压下,通过辉光等离子渗氮4 h左右,可以在金属钛试样表面生成一层厚度约3 μm、均匀致密的金黄色氮化钛膜层,膜层主要由面心立方结构的TiN组成,膜层呈胞状结构生长,膜层硬度为24 GPa.结论采用辉光离子氮化处理工艺可以在金属钛表面制备连续、致密、无裂缝、表面相对光滑的TiN保护层.

关键词：纯钛、辉光离子氮化、氮化钛、X射线衍射、原子力显微镜

所属期刊栏目：25

分类号：R783.1(口腔科学)

资助基金：南京医科大学校科研和教改项目NY03073

在线出版日期：2005-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：306-308