三种表面改性方法对纯钛表面膜化学组成的影响

摘要：

目的:评价大气热氧化、阳极氧化和氮化钛镀膜对铸造纯钛表面膜组成和厚度的影响.方法:制作纯钛试件12个,随机分为对照组、大气热氧化组、阳极氧化组和氮化钛镀膜组进行表面改性.然后进行膜表面和剖面的俄歇电子能谱(AES)分析.结果:对照组、大气热氧化组和阳极氧化组的最表层,O原子含量大于Ti(原子比约为2:1).达到氧化物/金属界面时对照组氧化膜厚度约为9nm(溅射时间约为18sec),热氧化组约为20nm(溅射时间约为40sec),阳极氧化组约为174nm(溅射时间约为5min48 sec).氮化钛镀膜组最表面O原子的含量很低,约占10%,而N+Ti占58%,Ti占20%,氮化钛膜厚度约为300nm(溅射时间约为10min).结论:在本实验条件下,未处理组,热氧化组和阳极氧化组表面膜的主要成分为TiO2,表面膜厚度由高到低依次为阳极氧化组＞热氧化组＞对照组.氮化钛镀膜组表面膜最厚,主要成分为氮化钛.

关键词：牙科、金属材料、纯钛、表面改性

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分类号：R783.1(口腔科学)

资助基金：中国科学院资助项目30171022

在线出版日期：2006-02-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：259-261