单晶锗表面抛光的ABAQUS多颗粒冲击仿真与实验分析

摘要：

单晶锗是一种难加工脆性材料, 通过使用固液两相流加工方法可获得较好的表面质量.为探究磨粒相关因素对加工质量的影响, 根据实际材料的参数, 利用ABAQUS有限元仿真软件建立多颗粒冲击仿真模型, 研究磨粒材料、粒径对加工后单晶锗表面质量、表面材料去除速率的关系;然后利用现有设备进行实验.研究表明, 加工后的单晶锗材料表面质量提高;使用较大尺寸磨粒可有效增加去除率, 降低残余应力, 但会增加表面粗糙度;使用较大弹性模量、低硬度材料的磨粒加工会产生相对较小残余应力;同时, 由于软件限制, ABAQUS有限元软件不能很好地对液体项等因素进行仿真, 这会导致仿真结果与实验结果的偏差.

关键词：ABAQUS仿真、多颗粒、单晶锗、残余应力

所属期刊栏目：43

分类号：TH164

资助基金：国家自然科学基金项目 51765027

在线出版日期：2018-11-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：51-58