纳米级人工超晶格多层膜的X射线广角衍射分析

摘要：

作者导出人工超晶格多层膜的X射线衍射的几何光学图,得出多层膜的Bragg方程,并讨论因装放样品而导致样品轴偏心的精细误差消除步骤.用普通广角X射线衍射仪,在低角区得到纳米级单、多层膜的调幅波长(厚度)及周期.

关键词：晶格、X射线衍线、多层膜

所属期刊栏目：27

分类号：TG146.3(金属学与热处理)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：16-18,21