钛锆铪氧化物镀膜材料及其薄膜应用研究

摘要：

钛锆铪氧化物具有独特的物理化学性质,透过性能良好、折射率高、光吸收低、纯度高等特性,因此在防护涂层、金属氧化物的半导体中以及热障涂层材料等很多方面都得到了广泛的应用.该文主要介绍了钛锆铪氧化物镀膜材料的纯度、光学性能、化学组成以及密度等方面的性质,并分别介绍了氧化钛、氧化锆和氧化铪材料以及其在光学、微电子学等方面的广泛应用.

关键词：钛锆铪氧化物、薄膜、光学

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

在线出版日期：2016-06-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：129-130