10.3969/j.issn.1674-098X.2011.06.035
溅射氩气压强对AZO薄膜光电性能的影响
采用磁控溅射方法在玻璃村底上制备出了Al掺杂ZnO(AZO)薄膜,研究了溅射过程中不同置气压强对薄膜光学、电学和微结构等方面性能的影响.XRD测试结果表明,所制备的薄膜均具有呈c轴择优取向的纤锌矿结构.当氩气压强为0.3Pa时AZO薄膜的电阻率降至2.77×10-3Ωcm,可见光平均透过率为93%.
AZO薄膜、溅射、氩气压强、电阻率、透过率
O484(固体物理学)
2011-09-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
42-43