p型薄膜晶体管(TFT)的研究进展

摘要：

薄膜晶体管(TFT)作为平板显示领域的核心技术之一,在电子信息产业中发挥了重要作用.近年来,氧化物薄膜晶体管发展迅速,高迁移率、高可见光透过率以及低温加工工艺等优势使其在柔性显示领域占据重要地位.目前关于氧化物TFT的文章报道大部分是n型TFT,为进一步提高集成电路的性能,需要制造有稳定性能的p型TFT.文章对比了4种TFT器件结构的组成、工作原理以及其在显示器领域中的应用,重点阐述了自1997年起p型TFT的研究进展,包括其制备方法、制备原材料以及得到的TFT的相关性能等;最后详细介绍了制备p型TFT的半导体材料和其新型应用领域,表明p型TFT在显示领域中具有重要应用前景.

关键词：薄膜晶体管、p型、金属氧化物、铜铁矿、半导体材料

分类号：TB34(工程材料学)

资助基金：本文系山东省自然科学基金项目项目编号ZR2018QEM002

在线出版日期：2021-02-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：48-54