基于蒙特卡罗方法的薄膜表面粗糙度的数值模拟

摘要：

薄膜的表面粗糙度直接影响薄膜的最终性能.本文构建了薄膜的三维生长动力学模型,并采用蒙特卡罗方法实现了薄膜生长的数值模拟,得到了沉积速率、基底温度和原子覆盖度等因素对薄膜表面粗糙度的影响.模拟结果表明:随着沉积速率的增大、基底温度的降低和覆盖度的增大,薄膜的表面粗糙度增大;并且在沉积速率较小时,薄膜的表面粗糙度随沉积速率增加迅速,而沉积速率较大时,薄膜的表面粗糙度随沉积速率增加缓慢.

关键词：薄膜生长、粗糙度、蒙特卡罗方法

所属期刊栏目：36

分类号：O411.3(理论物理学)

资助基金：国家自然科学基金;人才培养项目;国家自然科学基金;大学生创新创业训练计划项目

在线出版日期：2020-05-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：21-25