基于大数据分析的MEMS电镀铜薄膜耐磨性预测

摘要：

当前方法MEMS电镀铜薄膜耐磨性的预测值与真实值拟合度较差,预测误差率高.提出基于大数据分析的MEMS电镀铜薄膜耐磨性预测方法研究,进行MEMS薄膜的电镀铜实验,提取薄膜镀层厚度和镀层均匀度的实验数据;利用提取的样本数据,采用智能支持向量机(SVM)的大数据预测方法,进行SVM模型构建和参数优化选择,提高数据分类和预测的精度,实现对MEMS电镀铜薄膜耐磨性的精确预测.实验证明提出的方法能够提高预测的精度、降低误差.

关键词：大数据分析、MEMS、耐磨性

所属期刊栏目：33

分类号：TG174(金属学与热处理)

资助基金：教学改革研究项目2016JYB023

在线出版日期：2018-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：121-124