基于数字微镜元件的空间光调制器

摘要：

空间光调制器是一类能将信息加载于光学数据场上以便对二维空间各点光强进行调制的器件，其在微光刻领域具有广泛应用。微光刻技术对于照明强度分布、均匀性等的高精确度要求，使得基于数字微镜元件的空间光调制器由于精度高、可控性好而逐渐受到青睐，成为微光刻系统不可缺少的组成元件。

关键词：空间光调制器、数字微镜、微光刻

分类号：N04;TN761;TH74(术语规范及交流)

在线出版日期：2014-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：72-74