电容式数字微位移传感器的研究

摘要：

设计了一种基于AD7745芯片的数字式的电容微位移传感器,采用屏蔽电缆和电容保护环技术,有效降低杂散电容的影响.采用数据滤波技术对采样数据进行处理,提高了测量的准确性和重复性.实验结果表明:该电容微位移传感器的分辨力为0.01μm,全量程线性度0.05%,性能较传统电容位移传感器有较大提高.

关键词：电容式微位移传感器、AD7745、CDC芯片

所属期刊栏目：17

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2007-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：171-173