10.3969/j.issn.1005-6033.2006.24.109
对微机电系统发展趋势和面临挑战的思考
近年来,微机电系统在技术进步和应用数量上有了长足的发展.介绍了微机电系统的特点,分析了微机电系统的发展趋势,对微机电系统面临的挑战进行了探讨.
前沿学科、微机电系统、发展趋势
16
TH-39
2007-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
180-181
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10.3969/j.issn.1005-6033.2006.24.109
前沿学科、微机电系统、发展趋势
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TH-39
2007-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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