空间晶体生长炉综合控制方法

摘要：

空间晶体生长炉控制对象复杂,具有纯滞后、强耦合、非线性等不利于控制的特性.为实现炉温的精确控制,提出了一个空间晶体生长炉综合控制方法并通过软件来实现.将相关系数法和增广递推最小二乘法相结合,辨识系统模型,使用Hooke-Jeeves模式搜索法进行PID参数的自整定,采用PID加前馈控制的算法对系统进行仿真,使用同样的算法和控制参数对空间晶体生长炉进行实时控制,并在控制的过程中实时调整控制参数,以达到最佳的控制结果.实验结果表明,当三个温区的温度均达到700℃时,温度稳定度小于±0.3℃,满足系统设计要求.同时介绍了实现综合控制软件的基本原理、功能、特点及在实际中的应用.实际工程的应用结果表明,该软件可满足空间晶体生长炉对控制系统的要求.

关键词：系统辨识、空间晶体生长炉、系统控制、系统仿真

所属期刊栏目：31

分类号：V524(航天术)

在线出版日期：2013-12-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：87-92