全球MEMS传感器技术创新现状与趋势——基于2000-2014年专利分析

摘要：

以MEMS传感器为主要研究对象,基于德温特专利数据库中收录的优先权年为2000-2014年的MEMS传感器相关专利数据,以发展速度不同划分为三个阶段,分别讨论各阶段传感器类型、IPC分布以及专利权人分布的变化情况.结果表明MEMS传感器为市场导向型技术,不同阶段的研究重点与该阶段的市场需求有着紧密的联系,我国MEMS传感器在技术创新的同时应加快产业化的步伐.

关键词：MEMS、微机电系统、专利分析、传感器、创新趋势

所属期刊栏目：36

分类号：G306;G353.1(科学研究理论)

资助基金：国家科技图书文献中心NSTL重大专项服务资助项目“核心电子器件高端通用芯片和基础软件产品重大专项服务”2014XM053

在线出版日期：2016-07-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：165-169,202