碳/钛复合薄膜结构二次电子发射规律

摘要：

随着我国航天事业的发展,航天器中搭载的微波部件趋于小型化、集成化,而由此带来的微放电效应愈发显著,如何有效抑制微放电效应已成为当前研究的热点.文章使用磁控溅射技术制备了不同掺杂比例的钛/碳复合薄膜.对薄膜样品进行形貌、拉曼光谱及二次电子发射特性的测试分析.结果表明:随着金属钛掺杂比例的提高,薄膜按照柱状结构生长的规律越明显,致密度和平整度越好.结合测试结果及相关理论分析薄膜作用的机理,在碳/钛原子比为0.764时,复合薄膜的最大二次电子发射系数为1.40.碳/钛纳米复合薄膜对微放电效应具有良好的抑制效果,且具有大面积制备及工艺简单等特点.有助于未来有效载荷系统向高功率、高频段、集成化的方向发展.

关键词：表面结构、钛/碳基纳米薄膜、微放电效应、二次电子发射系数

所属期刊栏目：19

分类号：V443(航天仪表、航天器设备、航天器制导与控制)

资助基金：国防科技重点实验室开放项目;国家青年项目

在线出版日期：2022-10-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：93-98