薄膜铌酸锂——集成微波光子技术的基石

摘要：

微波光子学以其独特的优势,在通信、雷达、电子战等领域取得了蓬勃的发展.但基于分立器件的微波光子系统在体积、重量及稳定性方面所存在的问题,正严重制约着微波光子技术在星载、机载等平台的应用.而以光子集成工艺为基础的集成微波光子技术有望打破这种困境.最近新出现的薄膜铌酸锂材料,以其线性的电光效应、更强的光场限制能力及更高的集成度,有望成为集成微波光子技术的基石.文章回顾了由铌酸锂晶体材料到薄膜铌酸锂材料,以及传统调制器到薄膜铌酸锂调制器的发展历程,重点对比分析了薄膜铌酸锂材料与现有的光子集成工艺平台所用的InP、SiO2、硅、氮化硅等材料,在光子集成特性方面的优势及劣势.

关键词：薄膜、铌酸锂、微波光子、光子集成

所属期刊栏目：17

分类号：TN29(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2020-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：13-17