二次电子发射能谱研究进展

摘要：

文章阐述了二次电子发射能谱的基本概念，介绍了两种比较常规的二次电子发射能谱测试方法，以及国内外比较具有代表性的二次电子发射能谱的测试设备。详细地阐述了当前Vaughan模型和Furman模型并对两个模型进行了详细的比较分析，总结了各自的优势与不足。研究表明二次电子发射能谱在二次电子发射研究领域具有非常重要的价值，不论是能谱本身的物理概念还是能谱的测试或是能谱的解析模型建立均具有重要的研究价值，但是三者的研究仍然存在很多的问题有待解决。另外，能谱作为二次电子发射特性之一，对于能谱与微放电阈值之间的关系也有待深入的研究。

关键词：二次电子发射、能谱、Vaughan模型、Furman模型

所属期刊栏目：13

分类号：O46;O4

资助基金：国家自然科学基金重点项目V1537211;重点实验基金9140C530101150C5301。

在线出版日期：2016-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：7-15