甚多轴高速超精密激光干涉测量技术与仪器

摘要：

甚多轴高速超精密激光干涉测量技术与仪器是高端装备制造与前沿研究领域的重大核心技术基础.一方面,作为高端装备中不可替代的核心单元,直接决定了装备能达到的极限运动精度与整体性能;另一方面,作为国家/国防溯源精度最高的长度计量测试仪器,可以准确统一全国相关量值,并支撑国际单位制量子化变革等前沿研究.以国际先进微电子装备为例,其内部通常需嵌入包含20个以上测量轴的高速超精密激光干涉测量仪器,以实时测量米/秒级高速运动台的位置,测量精度要求已达到数纳米,并将进一步突破至亚纳米量级.世界科技强国十分重视甚多轴高速超精密激光干涉测量技术与仪器的开发和应用,我国由于一直未能掌握该类技术,高端装备制造等领域的相关技术研究长期受制于人.

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在线出版日期：2021-11-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：66-67