基于TRIZ的高纯电子级溴化氢深度脱水创新方法

摘要：

溴化氢与同族的氯化氢相比,具有更强的吸湿性,能够快速结合成水合物,进而导致溴化氢对纯化装置的腐蚀.目前国内对极易吸湿气体中痕量水深度脱除方法研究相对有限,限制了高纯溴化氢在集成电路制造、医药领域的高端应用.基于TRIZ方法,通过功能分析、冲突和物场分析,运用冲突矩阵、分离原理、76个标准解、效应、进化、剪裁等工具,提出了一系列的创新方法.对吸附剂进行科学改性、简化了工艺系统,既克服了酸性气体的腐蚀性,又保持了吸附脱水性能,可以为易吸湿与腐蚀性气体的分离产业化提供借鉴.

关键词：TRIZ;溴化氢;脱水;纯化;创新设计

所属期刊栏目：16

分类号：TE832;TP274.4(石油、天然气储存与运输)

资助基金：本文系国家创新方法工作专项"天津市创新方法推广应用与示范";2019年天津市重点研发计划科技支撑重点项目;2018年工业转型升级资金部门预算国家新材料生产应用示范平台建设项目之课题3"集成电路工艺用材料生产应用示范平台"

在线出版日期：2021-08-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：27-32