研发高速小型分子泵保障科学仪器研制——中国工程物理研究院何朝晖团队成果

摘要：

分子泵是主流的真空获得设备,具有抽气性能高、气氛洁净、连续工作、操作简便、能抽除各种气体等优点.高速小型复合分子泵作为众多分析测试仪器的关键核心部件,技术难度非常大.目前,面向科学仪器等高端应用的小型复合分子泵被德国普发、美国安捷伦、英国爱德华兹等公司垄断,严重阻碍着我国科学仪器的健康生存和发展.针对此现状,在国家重大科学仪器设备开发专项支持下,由中国工程物理研究院机械制造工艺研究所牵头,何朝晖研究员负责,联合东北大学、山东大学、西南科技大学、成都仪器厂、安徽皖仪科技股份有限公司、钢研纳克检测技术有限公司、聚光科技(杭州)股份有限公司和四川九天真空科技股份有限公司等单位开展了”高速小型复合分子泵的开发和应用”(项目编号:2013YQ130429)的研究工作,研制成功了DN63型、DN40型和多口型复合分子泵.

机标关键词：小型、复合分子泵、科学仪器、仪器研制、中国、工程、物理研究、团队、真空科技、真空获得设备、股份、分析测试仪器、科技大学、应用、仪器设备、项目编号、连续工作、开发、检测技术、技术难度

分类号：TB7;TL5

在线出版日期：2017-07-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：52-54