电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置

摘要：

在超精密计量测试和超精密加工领域中,具有高质量水平姿态的气浮隔振平台是进行精密测量和大规模集成电路制造的基本保证.超精密隔振特别是极大规模集成电路加工制造过程的隔振,要求隔振器在具有优异的隔振性能的同时还要具有超精密位置控制精度,而以往的隔振器存在结构复杂、制造成本高、需要性能优异的传感器和作动器等问题.

机标关键词：电磁、静压、气浮、复合支撑、隔振器、超精密隔振、集成电路制造、集成电路加工、制造过程、制造成本、隔振性能、水平姿态、控制精度、精密测量、结构复杂、加工领域、计量测试、极大规模、基本保证、隔振平台

分类号：TU7;TH1

在线出版日期：2017-04-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：11